Тъй като силициевият нитрид може да образува здрава връзка със силициев карбид, алуминиев оксид, ториев диоксид, бор нитрид и др., Той може да бъде използван като свързващ материал и модифициран с различни съотношения. В допълнение, силициевият нитрид може да се прилага и върху слънчеви клетки.
след като филмът на силициевия нитрид се отлага от PECVD, не само че може да се използва като анти-отражателен филм за намаляване на отразяването на падащата светлина, но също така, по време на отлагането на фолиото от силициев нитрид, водородните атоми на реакцията влизат в силиция нитриден филм и силициевата вафла изиграха ролята на дефектите на пасивацията.
Числовото съотношение на силициев нитрид към силициев нитрид тук не е строго 4: 3, но се колебае в определен диапазон в зависимост от различните условия на процеса. Физическите свойства на тънките филми, съответстващи на различни атомни съотношения, са различни.Използва се в газови турбини с ултра висока температура, самолетни двигатели, електрически пещи и др.
